半導體

晶圓檢測機

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設備參數:

· 産能:≥ 8ppm ;

· 準确率:≥ 95% ;

· 稼動率:≥ 95% (僅由設備自身原因造成);

· 漏檢率:0 ;

· 誤檢率:≤ 5% ;


安裝環境要求:

· 電源要求:380VAC,50Hz ≤40KW ;

· 壓縮氣源:0.4~0.7MPa  ≤1000L/H;

· 環境溫度:室溫+10°~+45°;

· 相(xiàng)對濕度:≯50%,無結露、無腐蝕性、可燃性氣體。